自動薄膜厚度測量儀的測量精度受哪些因素影響呢？

　　1，基體金屬磁性磁性法測厚受基體金屬磁性變化的影響（在實際應用中，低碳鋼磁性的變化可以認為時輕微的）。為了避免熱處理、冷加工等因素的影響，應使用與試件金屬具有相同性質的鐵基片對儀器進行校準。

　　2，基體金屬厚度每一種儀器都有一個基體金屬的臨界厚度。大于這個厚度測量就不受基體厚度的影響。

　　3，邊緣效應便攜式自動薄膜厚度測量儀對試片表面形狀的陡變敏感。因此在靠近試片邊緣或內轉角處進行測量是不可靠的。

　　4，曲率試件的曲率對測量有影響，這種影響總是隨著曲率半徑的減小明顯地增大。因此不應在試件超過允許的曲率半徑的彎曲面上測量。

　　5，表面粗糙度基體金屬何覆蓋層的表面粗糙度對測量有影響。粗糙度增大，影響增大。粗糙表面會引起系統誤差何偶然誤差。每次測量時，在不同位置上應增加測量的次數，以克服這種偶然誤差。如果基體金屬粗糙，還必須在未屠夫的粗糙度相類似的基體金屬試件上取幾個位置校對儀器的零點；或用沒有腐蝕性的溶液除去基體金屬覆蓋層，再校對便攜式自動薄膜厚度測量儀的零點。

　　6，磁場周圍各種電氣設備所產生的強磁場，會嚴重地干擾磁性法測量厚度的工作。

　　7，附著物質本儀器對那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質敏感。因此必須清除附著物質，以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。

　　8，便攜式自動薄膜厚度測量儀探頭壓力探頭置于試件上施加的壓力大小會影響測量的讀數。因此本儀器探頭用彈簧保持一個基本恒定的壓力。

　　9，便攜式自動薄膜厚度測量儀探頭的放置探頭的放置方式對測量有影響。在測量中，應當使探頭與試樣表面保持垂直。

　　10，便攜式自動薄膜厚度測量儀試件的變形探頭使軟覆蓋層試件變形。因此在這些試件上會測出不太可靠的數據。讀數次數通常儀器的每次讀數并不*相同。因此必須在每一測量面積內取幾個讀數，覆蓋層厚度的局部差異，也要求在任一給定的面積內進行多次測量。表面粗糙時更應如此。